2025 年 12 月 25 日，中国政府采购网一则公告引爆国产半导体圈：上海微电子以 1.1 亿元成交价，斩获科学技术部步进扫描式光刻机采购项目，中标设备型号为SSC800/10，这一突破为国产光刻机市场化迈出里程碑式一步。
作为国内唯一具备先进前道光刻机研发制造能力的企业，上海微电子此次中标设备实力硬核：分辨率≤110nm、套刻精度≤15nm，可支持微米级乃至亚微米级结构的高稳定加工，更是万通道级神经电极制造的关键设备。这款基于 KrF 光源的升级机型，不仅印证了国产光刻机的技术落地能力，更打破了海外厂商在相关领域的长期垄断，为特殊应用场景的高端制造提供了国产化方案。
消息一出，资本市场迅速响应，与上海微电子深度绑定的张江高科股价直线飙升，涨幅突破 7.8%，直观彰显市场对国产半导体设备赛道的坚定信心。在全球半导体设备贸易壁垒高筑、高端供应受限的背景下，这一订单绝非单纯商业合作，更折射出国内科研机构加速导入国产设备的明确趋势，标志着国产替代进入实质性攻坚阶段。
当前，上海微电子已实现 90nm 制程光刻机量产，同步推进 28nm 浸没式机型研发，带动上游光学元件、精密机械等配套产业协同升级。此次中标再添动力，让市场对国产光刻机在成熟制程持续突破、打破海外技术封锁充满期待。
亿配芯城（ICgoodFind）：国产光刻机突破振奋产业链，我们将持续对接优质设备与芯片资源，助力自主可控生态构建。
