知名咨询机构 Yole 的 MEMS 产业报告显示,中国已形成覆盖芯片设计、制造、封装测试及设备的完整 MEMS 产业链,以下为 50 余家核心企业名录及关键布局:
IDM 企业(设计 + 制造一体化)
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罕王微电子(辽宁)有限公司
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总部:沈阳
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亮点:国内首条纯 MEMS 规模化生产线,8 英寸晶圆年产能 18 万片,产品覆盖惯性传感器、射频器件。
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美新半导体(天津)有限公司
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总部:天津
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亮点:全球独有的热式加速度计、六轴 IMU,车规级传感器批量供货。
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诺思(天津)微系统有限责任公司
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总部:天津
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亮点:国内首家 FBAR 芯片厂商,射频前端滤波芯片技术国际领先。
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北方广微科技有限公司
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总部:北京
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亮点:非制冷红外探测器龙头,填补国内空白,应用于军工及工业测温。
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华润微电子有限公司
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总部:无锡
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亮点:全产业链 IDM,MEMS 传感器覆盖消费电子、汽车电子,12 英寸产线月产能 6 万片。
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杭州士兰微电子股份有限公司
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总部:杭州
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亮点:车规级 MEMS 传感器量产,12 英寸特色工艺产线支持高可靠器件生产。
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西人马联合测控(泉州)科技有限公司
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总部:泉州
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亮点:IDM 模式高端传感器厂商,产品应用于航空航天、工业自动化,具备定制化代工能力。
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河北美泰电子科技有限公司
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总部:石家庄
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亮点:MEMS 惯性器件及射频器件领军企业,产品性能达国际先进水平,服务汽车智驾及无人机领域。
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芯片代工企业
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北京赛微电子股份有限公司
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总部:北京
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亮点:全球 MEMS 纯代工龙头,2019-2023 年全球排名第一,服务激光雷达、生物医疗等高端客户。
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上海芯物科技有限公司(国家智能传感器创新中心)
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总部:上海
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亮点:国内首条 12 英寸传感器中试线,支持晶圆键合、3D 集成等先进工艺。
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上海微技术工业研究院(SITRI)
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总部:上海
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亮点:8 英寸研发中试线,孵化 20 余家企业,专利超 1000 项,聚焦智能传感器及硅基光子学。
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上海华虹宏力半导体制造有限公司
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总部:上海
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亮点:特色工艺代工龙头,12 英寸功率器件产线全球领先,MEMS 代工服务汽车电子领域。
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苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司
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总部:苏州
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亮点:6 英寸 MEMS 中试量产基地,月产 5000 片晶圆,支撑 400 余项芯片开发。
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芯联集成电路制造股份有限公司
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总部:绍兴
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亮点:车规级 MEMS 代工,12 英寸产线规划产能 12 万片 / 月,配套 IGBT 及模拟 IC 生产。
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广州增芯科技有限公司
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总部:广州
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亮点:规划建设 12 英寸传感器晶圆厂,聚焦力学、声学传感器,2026 年满产后产能 6 万片 / 月。
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Fabless 企业(无晶圆设计公司)
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华芯拓远(天津)科技有限公司
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总部:天津
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亮点:高性能 MEMS 惯性芯片设计,产品应用于自动驾驶及水下装备,与主流车企合作。
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歌尔微电子股份有限公司
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总部:青岛
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亮点:全球最大 MEMS 麦克风厂商,2024 年拟分拆港股上市,年产能超 50 亿颗。
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上海矽睿科技股份有限公司
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总部:上海
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亮点:六轴 IMU、磁传感器领先企业,获 “中国芯” 奖项,布局汽车电子及元宇宙场景。
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苏州敏芯微电子技术股份有限公司
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总部:苏州
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亮点:科创板 MEMS 第一股,掌握多品类芯片设计工艺,全球市场份额领先。
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深圳安培龙科技股份有限公司
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总部:深圳
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亮点:压力 / 氧传感器龙头,服务比亚迪、美的等,车规级产品进入国际供应链。
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武汉飞恩微电子有限公司
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总部:武汉
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亮点:汽车压力传感器批量配套,自主封装工艺及自动化产线,年产能数千万只。
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设备及材料企业
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北方华创科技集团股份有限公司(总部:北京):MEMS 芯片制造设备供应商,覆盖刻蚀、沉积等关键工序,国产设备主力厂商。
50+中国 MEMS 产业链公司名称 总部
罕王微电子(辽宁)有限公司 沈阳
北京赛微电子股份有限公司 北京
华芯拓远(天津)科技有限公司 天津
美新半导体(天津)有限公司 天津
诺思(天津)微系统有限责任公司 天津
北方广微科技有限公司(原北京广微积电) 北京
北方华创科技集团股份有限公司 北京
歌尔微电子股份有限公司 青岛
共达电声股份有限公司 淮坊
青岛智腾微电子有限公司 青岛
北京智芯传感科技有限公司 北京
安徽芯动联科微系统股份有限公司 蚌埠
南京高华科技股份有限公司 南京
上海巨哥科技股份有限公司 上海
上海芯物科技有限公司 上海
上海微技术工业研究院 上海
上海华虹宏力半导体制造有限公司 上海
苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司 苏州
苏州慧闻纳米科技有限公司 苏州
苏州汉天下电子有限公司 苏州
苏州敏芯微电子技术股份有限公司 苏州
芯联集成电路制造股份有限公司 绍兴
华润微电子有限公司 无锡
无锡胜脉电子有限公司 无锡
上海矽睿科技股份有限公司 上海
苏州明皜传感科技股份有限公司 苏州
深迪半导体(绍兴)有限公司 绍兴
苏州纳芯微电子股份有限公司 苏州
杭州士兰微电子股份有限公司 杭州
上海积塔半导体有限公司 上海
无锡芯感智科技股份有限公司 无锡
合肥领航微系统集成有限公司 合肥
上海迷思科技有限公司 上海
杭州海康威视数字技术股份有限公司 杭州
华景传感科技(无锡)有限公司 无锡
南京穹宇测控技术有限公司 南京
恒脉微电子(南京)有限公司 南京
无锡北微传感科技有限公司 无锡
地球山(苏州)微电子科技有限公司 苏州
无锡微视传感科技有限公司 无锡
开元通信技术(厦门)有限公司 厦门
西人马联合测控(泉州)科技有限公司 泉州
广州增芯科技有限公司 广州
广州奥松电子股份有限公司 广州
瑞声声学科技(深圳)有限公司 深圳
深圳安培龙科技股份有限公司 深圳
东莞市瑞勤电子有限公司 东莞
深圳市海谱纳米光学科技有限公司 深圳
精智未来(广州)智能科技有限公司 广州
河北美泰电子科技有限公司 石家庄
武汉飞恩微电子有限公司 武汉
武汉敏声新技术有限公司 武汉
重庆金芯麦斯传感器技术有限公司 重庆
以上为中国 MEMS 产业链领军企业,覆盖设计、制造、设备等全环节。亿配芯城(ICGOODFIND)作为专业电子元器件平台,可提供 MEMS 相关芯片及解决方案,助力产业链协同发展。