8 月 13 日消息，近日有消息称台积电将在高雄推进 A14（14 埃米，1.4nm制程），高雄当地部门已对下一代先进技术生产的土地需求及水电供应进行了盘点。
对此，台积电表示不会对市场传言作出回应。
有消息指出，台积电在楠梓园区增设的第 3 座晶圆厂为 2nm 制程，高雄市正积极解决水电、土地以及周边生活需求等问题。据悉，楠梓园区用地能够供台积电兴建 5 座晶圆厂，业界传出第 4、5 厂晶圆厂可能朝着 A14 制程布局，只等台积电公布。
据悉，台积电在楠梓的首座 2nm 制程技术晶圆厂预计在 2025 年实现量产，其产值将高于 3nm。知情人士表示，未来 2nm 制程将应用于高性能计算（HPC）、智能手机应用领域，还有电动汽车、自动驾驶汽车等。台积电向来提前研发先进技术，为未来市场进行布局。
对于 A14 制程，半导体设备行业人士依据台积电制定的 High-NA EUV 路线图指出，台积电 A14 制程将于 2026 年上半年进行风险试产，最快在 2027 年第三季度量产，量产初期仍主要采用 ASML 第三代标准型 EUV 设备 NXE:3800E。
此外，关于台积电台中中科新厂，业界也有传闻会采用 2nm 以下制程技术。
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