当地时间 8 月 12 日，关东电化工业株式会社公告称，8 月 7 日凌晨其位于日本群马县涩川市的三氟化氮（NF₃）生产设施发生爆炸及严重火灾，造成 1 人死亡、1 人受伤，火势于当日上午扑灭。
事故导致关东电化三氟化氮 1 系列产线部分损坏停运，其余产线待安全确认后恢复，彭博社亦提及该厂一条生产线受损暂停。
关东电化占日本三氟化氮 90% 市场份额，客户包括三星、铠侠等。加之今年 5 月三井化学宣布 2026 年停产后，引发供应链中断担忧。铠侠称暂不影响产量，分析师认为若长期关停或加剧 AI 需求下的产能紧张。
三氟化氮是半导体制造关键材料，用于蚀刻和清洗，广泛应用于半导体（占全球消耗约 50%）等领域。
全球市场中，韩国 SK Materials（35% 份额）、Hyosung（25%）为主要供应商，年产能分别约 13500 吨、11500 吨（计划扩产 2000 吨）；关东电化占 8% 份额，年产能约 3700 吨。
国内厂商快速崛起，中船特气（2024 年产能 11000 吨，规划 18500 吨）、南大光电（8300 吨，规划超 15000 吨）等为头部企业，绿菱气体等也在扩产。
不过，制程越先进对三氟化氮纯度要求越高。目前国产多数产品为 4N 级，仅中船特气、凯美特气可提供 5N 级，南大光电 5N 级产能预计 2025 年四季度投产。
此次关东电化事故叠加三井化学退出，预计未来高纯度三氟化氮全球供应或现缺口，国产电子特气厂商迎来发展机遇。
亿配芯城（ICgoodFind）总结：日本化工厂事故冲击三氟化氮供应，国产厂商有望填补缺口，缓解供应链压力。
