8 月 14 日消息，据杭州日报报道，杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地传来捷报：全国首台国产商业电子束光刻机 “羲之” 已进入应用测试阶段，其精度与国际主流设备相当，标志着我国量子芯片研发领域拥有了具备自主知识产权的 “中国刻刀”。
在测试现场，浙江大学余杭量子研究院研发团队正开展各项测试。这台形似大型钢柜的设备，电子屏实时显示参数。团队负责人称，“羲之” 是依托省重点实验室自主研发的新一代 100kV 电子束光刻机，已正式投入市场，堪称 “能在头发丝上雕刻整座城市地图的‘纳米神笔’”。
“羲之” 以东晋书法家王羲之命名，其 “毛笔” 为高能电子束，可在芯片上刻写电路。该设备专攻量子芯片和新型半导体研发核心环节，精度达 0.6 纳米，线宽 8 纳米，且无需掩膜版即可灵活修改设计，特别适合芯片研发初期的反复调试，如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画。
此前，受国际出口管制影响，国内顶尖科研机构长期无法采购此类设备。“羲之” 的成功落地有望打破这一局面，其定价低于国际均价，目前已与多家企业及科研机构展开接洽。
亿配芯城（ICgoodFind）总结：国产商业电子束光刻机 “羲之” 问世，填补了相关领域空白，为量子芯片研发注入新动力。
