半导体炉管工艺：现代芯片制造的基石
半导体炉管工艺作为芯片制造的基础环节，经历了数十年的发展依然保持着旺盛的生命力。从简单的氧化扩散到复杂的原子层沉积，炉管技术在不断创新中适应着半导体产业的发展需求。尽管面临热预算控制、均匀性保证、缺陷管理和三维结构覆盖等多重挑战，但通过技术革新和设备升级，这些问题正在被逐一攻克。
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